SUEX™ und ADEX™ (DJ MICROLAMINATES Inc.) Trockenfilm-Photoresiste sind vielseitig einsetzbare, i-line empfindliche, photo-strukturierbare epoxidharzbasierte Trockenfilme, die als einzelne Blätter oder Rollenware verfügbar sind. Diese Trockenfilmresiste sind unter Verwendung eines handelsüblichen Laminiergerätes einfach applizierbar, unter Vermeidung von unnötigem Resistabfall und komplizierter Verarbeitung wie bei der Schleuderbeschichtung von flüssigen Resisten. Resistschichtdicken von 5 μm bis 500 μm und Aspektverhältnisse > 20:1 sind zu erreichen. Die Trocken-Photoresiste sind vorkonfektioniert für eine Vielzahl von Standdardsubstratgrößen. Auch die Rollenware ist in einer Reihe von Breiten und Längen erhältlich. Die lösemittelfreie Resistschichtherstellung erlaubt eine außergewöhnlich hohe Schichtdickenhomogenität und eine sehr geringe Oberflächenrauigkeit.
* Andere Blattgrößen auf Anfrage
Resist | Schichtdicke Blatt/Rollengrößen* |
Entwickler |
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SUEX™ K | 20 μm; 25 μm; 30 μm; 40 μm; 50 μm; 75 μm; 100 μm; 125 μm; 150 μm; 200 μm; 225 μm; 250 μm; 300 μm; 350 μm; 400 mm; 500 μm Vorgeschnittene Bogen (Waferschnittgrößen, rund/ quadratisch/ rechteckig) |
mr-Dev 600 |