EpoCore & EpoClad Serien
Negativ-Photoresiste
micro resist technology
Ansprechpartner
Dr. Anja Voigt
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Anja Hinz
E-Mail: a.hinz@microresist.de
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Element 25weqwf
Negativ-Resist Serien für die UV-Lithographie
Geringe optische Dämpfung für Permanentanwendungen
Merkmale
  • Standard UV-Lithographie und PCB Technologie
  • Hohe Transparenz @ 850 nm
  • Optische Dämpfung ~ 0,2 dB/cm @ 850 nm
  • Hohe thermische und Druckbeständigkeit
  • Einstellbarer Brechungsindex (Kern/ Mantel)
Anwendungen
  • Polymerbasierte Multimode (MM) und Single mode (SM) Wellenleiter:
    EpoCore als Kern- und EpoClad als Mantelmaterial

EpoCore

Product Schichtdicke
EpoCore 2 2,0 µm @ 3000 rpm
EpoCore 5 5,0 µm @ 3000 rpm
EpoCore 10 10 µm @ 3000 rpm
EpoCore 20 20 µm @ 3000 rpm
EpoCore 50 50 µm @ 1500 rpm

EpoClad

Product Schichtdicke
EpoClad 2 2,0 µm @ 3000 rpm
EpoClad 5 5,0 µm @ 3000rpm
EpoClad 10 10 µm @ 3000rpm
EpoClad 20 20 µm @ 3000rpm
EpoClad 50 50 µm @ 1700 rpm

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mr-DWL Serie
Negativ-Photoresiste
micro resist technology
Ansprechpartner
Dr. Anja Voigt
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Anja Hinz
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Element 25weqwf
Negativ-Resist Serie - Laserdirektschreiben @ 405 nm
Permanentanwendung oder konventionelle Strukturübertragungsprozesse
Merkmale
  • Empfindlich oberhalb 400 nm, für das Direktlaserschreiben @ 405 nm
  • Hohe thermische und chemische Stabilität
  • Hohe Trocken- und Nassätzstabilität
Anwendungen
  • Schnelles und kontaktloses Prototyping durch
  • Permanentanwendungen: Master- und Templateherstellung, PDMS-Abformung
  • Strukturübertragung: Ätzmaske, Galvanikform
Resist Schichtdicke
mr-DWL 5 5,0 µm @ 3000 rpm
mr-DWL 40 40 µm @ 2000 rpm
mr-DWL 100 100 µm @ 1500 rpm

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mr-EBL 6000 Serie
Negativ-Photoresiste
micro resist technology
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Dr. Anja Voigt
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Element 25weqwf
Negativ-Resiste für Elektronenstrahlbelichtung
Konventionelle Strukturübertragungsproze
Merkmale mr-EBL 6000 Serie für die Elektronenstrahllithographie
  • Hohes Auflösungsvermögen (~ 40 - 50 nm)
  • Ausgezeichnete thermische Stabilität der Resiststrukturen
  • Hohe Nass- und Trockenätzbeständigkeit
  • Post exposure bake (PEB) erforderlich
  • Ätzmaske

mr-EBL 6000

Resist Schichtdicke @ 3000 rpm
mr-EBL 6000.1 0,1 µm
mr-EBL 6000.3 0,3 µm
mr-EBL 6000.5 0,5 µm

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ma-N 2400 Serie
Negativ-Photoresiste
micro resist technology
Ansprechpartner
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Element 25weqwf
Negativ-Resiste für Elektronenstrahlbelichtung
Konventionelle Strukturübertragungsprozesse
Merkmale ma-N 2400 Serie für die Elektronenstrahl- und Tief-UV Lithographie
  • Hohes Auflösungsvermögen (~ 40 - 50 nm)
  • Wässrig-alkalisch entwickelbar
  • Hohe thermische Stabilität der Resiststrukturen
  • Hohe Nass- und Trockenätzbeständigkeit
  • Leicht entfernbar
Anwendungen
  • Ätzmaske

ma-N 2400

Resist Schichtdicke @ 3000 rpm
ma-N 2401 0,1 µm
ma-N 2403 0,3 µm
ma-N 2405 0,5 µm
ma-N 2410 1.0 µm

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ma-N 1400 Serie
Negativ-Photoresiste
micro resist technology
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Dr. Anja Voigt
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Anja Hinz
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Negativ-Photoresist Serien für die UV-Lithographie
Single layer lift-off Strukturierung, konventionelle Strukturübertragungsprozesse
Merkmale
  • Einstellbares Resistprofil: vertikal bis unterschnitten
  • Hohe thermische Stability der Resiststrukturen
  • Hohe Nass- und Trockenätzstabilität
  • Wässrig-alkalisch entwickelbar
  • Leicht entfernbar

ma-N 1400: Thermische Stabilität bis 160°C für Aufdampf- und Sputterprozesse

Anwendungen
  • Maske für Lift-off Prozesse
  • Ätzmaske für Halbleiter und Metalle
  • Maske für Ionenimplantationsprozesse

ma-N 1400

Resist Schichtdicke @ 3000 rpm
ma-N 1405 0,5 µm
ma-N 1407 0,7 µm
ma-N 1410 1,0 µm
ma-N 1420 2,0 µm
ma-N 1440 4,0 µm

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ma-N 400 Serie
Negativ-Photoresiste
micro resist technology
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Dr. Anja Voigt
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Anja Hinz
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Element 25weqwf
Negativ-Photoresist Serien für die UV-Lithographie
Single layer lift-off Strukturierung, konventionelle Strukturübertragungsprozesse
Merkmale
  • Einstellbares Resistprofil: vertikal bis unterschnitten
  • Hohe thermische Stability der Resiststrukturen
  • Hohe Nass- und Trockenätzstabilität
  • Wässrig-alkalisch entwickelbar
  • Leicht entfernbar

ma-N 400: Thermische Stabilität bis 110 °C für Aufdampfprozesse

 

Anwendungen
  • Maske für Lift-off Prozesse
  • Ätzmaske für Halbleiter und Metalle
  • Maske für Ionenimplantationsprozesse

ma-N 400

Resist Schichtdicke @ 3000 rpm
ma-N 405 0,5 µm
ma-N 415 1,5 µm
ma-N 420 2,0 µm
ma-N 440 4,1 µm
ma-N 490 7,5 µm

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ma-P 1200 Serie / ma-P 1275HV
Positiv-Photoresiste
micro resist technology
Ansprechpartner
Christine Schuster
Mail: c.schuster@microresist.de
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Anja Hinz
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Element 25weqwf
Positiv-Photoresistserie und dicke Photoresiste für die UV-Lithographie
ma-P 1200-Serie und ma-P 1275 & ma-P 1275HV für die Mikrosystemtechnik und Mikroelektronik
Merkmale
  • Schichtdicke bis 60 µm in einem Schleuderbeschichtungsschritt
  • Breitband-, g-, h- und i-Linien-Belichtung
  • Hohe Strukturstabilität in sauren und basischen Galvanikbädern
  • Hohe Nass- und Trockenätzstabilität
  • Gute Temperaturbeständigkeit der Resiststrukturen erreichbar
  • Wässrig-alkalische Entwicklung
  • Bis zu 87° Kanstensteilheit mit Mask Aligner Breitbandbelichtung
  • Geeignet für Reflow
Anwendungen
  • Ätzmaske für Metall- und Halbleiter-Substrate
  • Form für die Galvanik – z.B. für Mikrospulen, Mikrofedern
  • Herstellung Mikro-optischer Komponenten – z.B. Mikro-Linsen durch Strukturübertragung nach Reflow von Resiststrukturen 
  • Maske für die Ionenimplantation 
Resist Schichtdicke @ 3000 rpm
ma-P 1205 0,5 µm
ma-P 1210 1,0 µm
ma-P 1215 1,5 µm
ma-P 1225 2,5 µm
ma-P 1240 4,0 µm
ma-P 1275 7,5 µm
ma-P 1275HV 11,0 µm

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mr-P 1200LIL Serie
Positiv-Photoresiste
micro resist technology
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Element 25weqwf
Photoresist-Serie für UV-Lithographie
mr-P 1200LIL ist eine Serie dünner Positiv-Photoresiste für hochaufgelöste Strukturen. Die Resiste sind für die Laserinterferenz-Lithographie (LIL) hervorragend geeignet.
Merkmale
  • 100…500 nm Schichtdicke
  • Spektrale Empfindlichkeit 350…450 nm
  • Steile Seitenwände durch hohen Kontrast ermöglichen hochwertige Ätzstrukturen
  • Wässrig-alkalische Entwicklung
  • Ätzresistent
Anwendungen

Maskierung von Substratoberflächen in der Herstellung steilkantiger Nanostrukturen für diffraktive Optiken:

  • Laminargitter
  • VLS-Gitter
Resist Schichtdicke @ 3000 rpm
mr-P 1201LIL 0,1 µm
mr-P 1202LIL 0,2 µm

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ma-P 1200G Serie
Positiv-Photoresiste
micro resist technology
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Element 25weqwf
Photoresist-Serie für Grauton-Lithographie
ma-P 1200G ist eine Positiv-Photoresist-Serie speziell für die Anforderungen der Grautonlithographie, einsetzbar auch in der binären Standard-UV-Lithographie.
Merkmale
  • Verringerter Kontrast
  • Schichtdicke von 1 µm bis 60 µm und höher
  • 50-60 µm Strukturtiefe möglich in der Grautonlithographie
  • Spektrale Empfindlichkeit 350…450 nm
  • Laser-Belichtung mit hoher Intensität ohne Ausgasen des Resists möglich
  • Wässrig-alkalische Entwicklung, für die Grautonlithographie mit TMAH-Entwicklern, für binäre Standard-Lithographie auch mit metallionenhaltigen Entwicklern
  • Geeignet für die Galvanik
  • Geeignet für Trockenätzprozesse, z.B. mit CHF3, CF4, SF6
  • Geeignet für den Struktur-Reflow nach binärer Standard-Lithographie
Anwendungen

Anwendung der hergestellten 3D Strukturen in der Mikro-Optik, in MEMS und MOEMS, in Displays

Strukturübertragung durch

  • UV-Abformung
  • Ätzen
  • Galvanik
Resist Schichtdicke @ 3000 rpm
ma-P 1215G 1,5 µm
ma-P 1225G 2,5 µm
ma-P 1275G 9,5 µm

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mr-PosEBR Serie
Positiv-Photoresiste
micro resist technology
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Christine Schuster
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Element 25weqwf
Positivresist-Serie für die Elektronenstrahlbelichtung
Merkmale
  • Hochempfindlich
  • Hohes Auflösungsvermögen (< 50 nm)
  • Hohe Trockenätzbeständigkeit
  • Entwicklung in organischen Lösemitteln
Anwendungen
  • Ätzmaske
Resist Schichtdicke @ 3000 rpm
mr-PosEBR 0.05 50 nm
mr-PosEBR 0.1 100 nm
mr-PosEBR 0.3 300 nm

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OrmoStamp®
Hybridpolymere
micro resist technology
Ansprechpartner
Dr. Jan Klein
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Anja Hinz
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Element 25weqwf
Für UV-basiertes und thermisches Imprinting
OrmoStamp® verfügt nach dem Aushärten über glasähnliche Materialeigenschaften und wurde designed entwickelt für die Herstellung transparenter Polymerarbeitsstempel mit hervorragender Strukturtreue
Merkmale
  • Hohe Transparenz vom sichtbaren Spektrum bis zum Nah-UV (350 nm)
  • Hohe thermische und mechanische Stabilität
  • Geringe Entformkräfte durch verbesserte Anti-Haft-Eigenschaften
  • Verarbeitbar mit Standard-Lithographie Equipment
Anwendungen
  • Herstellung transparenter Arbeitsstempel
  • Kostengünstige Alternative zu Quarzstempeln
  • UV-basiertes und thermisches Imprinting, Nanoimprint Lithographie
Parameter OrmoStamp®
Viskosität 0.4 +/– 0.2 Pa•s
Auflösung Hohe Auflösung
Thermische Stabilität Bis zu 270 °C (kurzzeitig)
Brechungsindex (589 nm, ausgehärtet) 1.516
Abformung mit PDMS-Stempel
(keine Sauerstoffempfindlichkeit)
Ja
Haltbarkeit 6 Monate
Lösungsmittelfrei Ja, gebrauchsfertige Formulierungen

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OrmoCore und OrmoClad
Hybridpolymere
micro resist technology
Ansprechpartner
Dr. Jan Klein
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Anja Hinz
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Element 25weqwf
Für UV-Prägen, UV-Abformung und UV-Lithographie
OrmoCore und OrmoClad verfügen nach dem Aushärten über glasähnliche Materialeigenschaften und sind wegen ihrer geringen optischen Dämpfung besonders geeignet zur Herstellung optischer Wellenleiter
Merkmale
  • Niedrige optische Dämpfung bei Datacom Wellenlängen
  • Einstellbarer Brechungsindex (via Anteil Core/Clad)
  • Hohe thermische und mechanische Stabilität
Anwendungen
  • Singlemode- und Multimode-Wellenleiter
  • Strahlteiler
  • Thermo-optische Schalter
  • Mikroring-Resonatoren
OrmoCore OrmoClad
Viskosität 2,9 +/- 0.4 Pa•s 2,5 +/- 1 Pa•s
Auflösung Hohe Auflösung bis zu 100 nm Strukturen Hohe Auflösung bis zu 100 nm Strukturen
Thermische Stabilität Bis zu 270 °C (kurzzeitig) Bis zu 270 °C (kurzzeitig)
Brechungsindex
(589 nm, ausgehärtet)
1,555 1,537
Belichtung unter Sauerstoff
(keine Sauerstoffempfindlichkeit)
Nein Nein
Haltbarkeit 6 Monate 6 Monate
Lösungsmittelfrei Ja, gebrauchsfertige Formulierungen Ja, gebrauchsfertige Formulierungen

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OrmoComp®
Hybridpolymere
micro resist technology
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Dr. Jan Klein
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Für UV-Prägen und UV-Abformung
OrmoComp® verfügt nach dem Aushärten über glasähnliche Materialeigenschaften und ist das Standardprodukt für eine große Auswahl an Strukturgrößen und Bauteildimensionen
Merkmale
  • Hohe Transparenz vom sichtbaren Spektrum bis zum Nah-UV (350 nm)
  • Hohe thermische und mechanische Stabilität
Anwendungen
  • Geprägte Gitter und Prismen
  • Mikrolinsen und Mikrolinsenarrays
  • Optische Kopplungselemente und Verbindungen
  • Mikrofluidische Systeme
  • Einzelelemente oder Wafer-Level
Parameter
OrmoComp® OrmoClear®FX
Viskosität 2 ± 0.5 Pa•s 1.5 ± 0.3 Pa•s
Auflösung Hohe Auflösung bis zu 100 nm Strukturen
Thermische Stabilität Bis zu 270 °C (kurzzeitig)
Schrumpfung 5 – 7 % 3 – 5 %
Brechungsindex (589 nm, ausgehärtet) 1,520 1,555
Abformung mit PDMS-Stempel
(keine Sauerstoffempfindlichkeit)
Ja Ja
Haltbarkeit 6 Monate
Lösungsmittelfrei Ja, gebrauchsfertige Formulierungen

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OrmoClear® Serie
Hybridpolymere
micro resist technology
Ansprechpartner
Dr. Jan Klein
Mail: j.klein@microresist.de
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Anja Hinz
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Element 25weqwf
Für UV-Prägen und UV-Abformung
Die Produkte der OrmoClear®-Serie verfügen nach dem Aushärten über glasähnliche Materialeigenschaften und sind durch ihre sehr geringe Volumenschrumpfung besonders geeignet für optische Komponenten > 100 µm
Merkmale
  • Hohe Transparenz vom sichtbaren Spektrum bis zum Nah-UV (350 nm)
  • Hohe thermische und mechanische Stabilität
Anwendungen
  • Geprägte Gitter und Prismen
  • Mikrolinsen und Mikrolinsenarrays
  • Optische Kopplungselemente und Verbindungen
  • Mikrofluidische Systeme
  • Einzelelemente oder Wafer-Level
Parameter OrmoClear® OrmoClear®30 OrmoClear®FX
Viskosität 2,9 ± 0.3 Pa•s 30 ± 3 Pa•s 1,5 ± 0,3 Pa•s
Auflösung Hohe Auflösung bis zu 100 nm
Schrumpfung 3 - 5 % << 2 % 3 - 5 %
Thermische Stabilität Bis zu 270 °C (kurzzeitig)
Brechungsindex
(589 nm, ausgehärtet)
1,555 1,559 1,555
Abformung mit PDMS-Stempel
(keine Sauerstoffempfindlichkeit)
Nein Nein Ja
Haltbarkeit 6 Monate
Lösungsmittelfrei Ja, gebrauchsfertige Formulierungen

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OrmoClear®FX
Hybridpolymere
micro resist technology
Ansprechpartner
Dr. Jan Klein
Mail: j.klein@microresist.de
Telefon: +49 30 64 16 70 100
Anja Hinz
Mail: a.hinz@microresist.de
Telefon: +49 30 64 16 70 100
Element 25weqwf
Für UV-Prägen und UV-Abformung
OrmoClear®FX verfügt nach dem Aushärten über glasähnliche Materialeigenschaften und ist ideal für mikro- und nanooptische Komponenten unterschiedlicher Strukturgrößen und Bauteildimensionen
Merkmale
  • Hohe Transparenz vom sichtbaren Spektrum bis zum Nah-UV (350 nm)
  • Hohe thermische und mechanische Stabilität
Anwendungen
  • Geprägte Gitter und Prismen
  • Mikrolinsen und Mikrolinsenarrays
  • Optische Kopplungselemente und Verbindungen
  • Mikrofluidische Systeme
  • Einzelelemente oder Wafer-Level
Parameter OrmoClear®FX OrmoComp®
Viskosität 1.5 ± 0.3 Pa•s 2 ± 0.5 Pa•s
Auflösung Hohe Auflösung bis zu 100 nm Strukturen
Thermische Stabilität Bis zu 270 °C (kurzzeitig)
Schrumpfung 3 – 5 % 5 – 7 %
Brechungsindex (589 nm, ausgehärtet) 1,555 1,520
Abformung mit PDMS-Stempel
(keine Sauerstoffempfindlichkeit)
Ja Ja
Haltbarkeit 6 Monate
Lösungsmittelfrei Ja, gebrauchsfertige Formulierungen

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mr-NIL200 Serie
Nanoimprint Resiste
micro resist technology
Ansprechpartner
Dr. Manuel Thesen
E-Mail: m.thesen@microresist.de
Telefon: +49 30 64 16 70 100
Anja Hinz
E-Mail: a.hinz@microresist.de
Telefon: +49 30 64 16 70 100
Element 25weqwf
Photo-vernetzbarer NIL-Resist
mr-NIL200 ist ein photo-vernetzbarer NIL-Resist der speziell für harte und nicht-permeable Stempelmaterialien entwickelt wurde. Typisches Anwendungsfeld ist der Einsatz als Ätzmaske für den Strukturtransfer bei z.B. photonischen Anwendungen. Für den Einsatz von mr-NIL200 brauchen Sie keinen zusätzlichen Haftvermittler oder Primer.
Merkmale
  • Kein zusätzlicher Haftvermittler oder Primer für die gängigsten Substratoberflächen notwendig (Si, SiO2, Al, Saphir, Cu, unterschiedliche organische Unterschichten wie LOR, UL1, UL3)
  • Härtet vollständig in Gegenwart von Luftsauerstoff
  • Die geringe Viskosität ermöglicht schnelle Strukturfüllung und minimiert mögliche Imprintdefekte in Form von Lufteinschlüssen
Anwendungsbeispiele

Step-and-repeat nanoimprint on pre-spin coated film for the fabrication of integrated optical devices
G Calafiore et al., J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS 14(3), 033506 Link zum Abstract

Efficient fabrication of photonic and optical patterns by imprinting the tailored photo-curable NIL resist «mr-NIL200»
M Messerschmidt et al., Poster, International Conference on Micro & Nano Engineering MNE2018, Copenhagen Link zum Poster

 Empfohlene Prozessparameter

Verfahrensschritt Prozessparameter
Schleuderbeschichtung 3000 rpm for 30 s
Prebake-Bedingungen 60 °C für 180 s
Prägetemperatur Raumtemperatur
Prägedruck > 100 mbar
Belichtungsdosis > 1J cm-2
Belichtungseinheit Option 1: broad band
Option 2: LED (365-405 nm)
Verdünner (Thinner) mr-T 1078
Haftvermittler (Primer) Nicht erforderlich
(mr-APS1 bei Bedarf für mr-NIL200 Schichtdicken > 300nm)

 Schichtdicken und verfügbare Versandeinheiten

Spezifikation Schichtdicken und Versandeinheiten
Unsere ready-to-use-solutions für Standardschichtdicken (3000 rpm) mr-NIL200-100 nm
mr-NIL200-200 nm
mr-NIL200-300 nm
Maßgeschneiderte Schichtdicken nach Bedarf möglich bis zu (3000 rpm) 1 µm
Verfügbare Abfüllungen 250 ml
500 ml
Größere Gebinde nach Rückfrage

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mr-XNIL26SF
Nanoimprint Resiste
micro resist technology
Ansprechpartner
Dr. Manuel Thesen
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Photo-vernetzbarer NIL Resist, lösungsmittelfrei
Photo-vernetzbarer NIL Resist mit einem hohen Anteil an fluorierten Komponenten
Merkmale
  • hoher Anteil an fluorierten Komponenten erleichtert die Stempeltrennung und vermindert die Defektrate
  • 100 % organisch, Rückstandsfrei entfernbar mit Sauerstoffplasma
  • Kann mit PGMEA oder ma-T 1050 auf 100nm-Schichtdicke verdünnt werden
Anwendungen
  • NIL bei der sehr niedrige Entformkräfte wichtig sind, beispielsweise Imprints auf einem Mehrschichtsystem
mr-XNIL26 Versionen Schichtdicke
mr-XNIL26SF 4,8 µm

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mr-NIL210 Serie
Nanoimprint Resiste
micro resist technology
Ansprechpartner
Dr. Manuel Thesen
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Anja Hinz
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Element 25weqwf
Photo-vernetzbarer NIL-Resist
mr-NIL210 ist ein rein organischer Photo-NIL-Resist mit ausgezeichneter Ätzstabilität. Er eignet sich insbesondere für die Soft-NIL mit weichen Stempelmaterialien, beispielsweise PDMS.
Merkmale
  • Exzellente Härtungseigenschaften,  selbst bei Anwesenheit von Luftsauerstoff
  • Hervorragende Kompatibilität zu PDMS-Arbeitsstempeln für die Soft-NIL, bevorzugte Anwendung in Kombination mit dem Stempelmaterial UV-PDMS KER-4690 
  • Überragende Ätzstabilität gegenüber unterschiedlichen Substraten wie Silizium, Siliziumdioxid oder Aluminium
  • Rein organischer Resist, komplette Entfernung auch nach dem Härten mit Sauerstoffplasma möglich
Anwendungen
  • Hartmaske für die Strukturübertragung (nasschemisch oder mittels Trockenätzen )
  • Herstellung von Nanostrukturen für z.B.
    • Nano-optische Bauteile, SOEs
    • LEDs, photonische Kristalle
    • Patterned Sapphire Substrates (PSS)
    • Mikroelektronische Bauteile
    • Organische Elektronik (OLED, OPV, OTFT)
    • Speichermedien (bit patterned media)
    • Lift-off in Kombination mit z.B. LOR (MCC, USA)

Empfohlene Prozessparameter

Verfahren Prozessparameter
Schleuderbeschichtung 3000 U min-1 für 30 s
Prebake-Bedingungen 60 °C für 180 s
Prägetemperatur Raumtemperatur
Prägedruck > 100 mbar
Belichtungsintensität mr-NIL210-100nm: 100 mW cm-2
mr-NIL210-200nm: 50 mW cm-2
mr-NIL210-500nm: 50 mW cm-2
Belichtungseinheit Option 1: Breitbandbelichtung
Option 2: LED (365-405 nm)
Verdünnungslösemittel (Thinner) ma-T 1078
Haftvermittler (Primer) mr-APS1

 Unsere Standardschichtdicken

mr-NIL210 Version Schichtdicke @ 3000 Umin-1*
mr-NIL210-100nm 100 nm
mr-NIL210-200nm 200 nm
mr-NIL210-500nm 500 nm

* Herstellung weiterer Schichtdicken möglich bis 2 µm auf Anfrage

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mr-NIL 6000E Serie
Nanoimprint Resiste
micro resist technology
Ansprechpartner
Dr. Manuel Thesen
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Anja Hinz
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Element 25weqwf
Photo-vernetzbarer thermoplastischer NIL Resist
mr-NIL 6000E ist ein photo-härtender thermoplastischer NIL Resist, der nach Prägen und Belichten eine ausgesprochene Strukturtreue unter thermischer Belastung aufweist
Merkmale
  • Hohe thermische Strukturstabilität in nachgelagerten Prozessen durch die thermische Vernetzung/Aushärtung während des Imprintens
  • Rein organischer Thermoplast → Plasmaätzen und stripping mit reinem Sauerstoffplasma möglich
Anwendungen

Ätzmaske zur Strukturübertragung für die Herstellung von beispielsweise

  • High brightness LEDs
  • Photonischen Kristallen
  • Patterned media
  • Nano-optischen Bauteilen, subwavelength optical elements
mr-NIL 6000E Versionen Schichtdicke *
mr-NIL 6000.1E 100 nm
mr-NIL 6000.2E 200 nm
mr-NIL 6000.3E 300 nm

* Andere Schichtdicken auf Anfrage verfügbar

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mr-I 9000M Serie
Nanoimprint Resiste
micro resist technology
Ansprechpartner
Dr. Manuel Thesen
E-Mail: m.thesen@microresist.de
Telefon: +49 30 64 16 70 100
Anja Hinz
E-Mail: a.hinz@microresist.de
Telefon: +49 30 64 16 70 100
Element 25weqwf
Thermoset
Thermisch härtender NIL Resist (Thermoset - keine verbleibende Glasübergangsstufe nach dem Imprinten)
Merkmale
  • Hohe thermische Strukturstabilität bis 250 °C (durch einen zweistufigen Imprintprozess) in nachgelagerten Prozessen durch die thermische Vernetzung/Aushärtung während des Imprintens (keine verbleibende Glasübergangsstufe nach dem Imprinten)
  • Rein organischer Resist → Plasmaätzen mit reinem Sauerstoffplasma möglich
Anwendungen

Ätzmaske zur Strukturübertragung für die Herstellung von beispielsweise

  • High brightness LEDs
  • Photonischen Kristallen
  • Patterned media
  • Nano-optischen Bauteilen, subwavelength optical elements
mr-I 9000M Versionen * Schichtdicken *
mr-I 9010M 100 nm
mr-I 9020M 200 nm
mr-I 9030M 300 nm
mr-I 9050M 500 nm
mr-I 9100M 1.0 µm

* Herstellung weiterer Schichtdicken auf Anfrage möglich

  • Passender Verdünner: ma-T 1045
  • Resistentfernung: ma-T1045, Sauerstoffplasma
  • Größere Gebinde und Mengen auf Anfrage erhältlich

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Negative Photoresiste

Photoresiste für UV (Mask Aligner, Laser)/ Elektronenstrahl- und Tief-UV-Lithographie

  • Geeignet für Breitband- und i-Linien-Belichtung, Tief-UV- oder Elektronenstrahlbelichtung,  oder Laserdirektschreiben @ 405 nm
  • Lift-off Resiste mit einstellbarem Kantenprofil, hohe Temperaturstabilität bis zu 160 °C
  • ​Verschiedene Viskositäten für unterschiedliche Schichtdicken in einem Schleuderbeschichtungsschritt
     
  • Für die Strukturübertragung: Physical vapour deposition (PVD) und Lift-off als Einschichtsystem, Ätzmaske, Galvanikform 
  • Für die Permanentanwendung: Polymerbasierte Wellenleiter
  • Anwendung in Mikrosystemtechnik, Mikroelektronik, Mikro-Optik – Herstellung von z. B. LEDs, ICs, MEMS, Flachbildschirmen, Glasfaserkommunikations-Bausteinen

Ansprechpartner

Dr. Anja Voigt

E-Mail: a.voigt@microresist.de

Telefon: +49 30 64 16 70 100

Anja Hinz

E-Mail: a.hinz@microresist.de

Telefon: +49 30 64 16 70 100

Positive Photoresiste

Positiv-Photoresiste für die UV-Lithographie (Mask Aligner-, Laser-, Grauton-Belichtung) und Elektronenstrahllithographie

  • Verschiedene Viskositäten für 0,1 µm – 60 µm Schichtdicke in einem Schleuderbeschichtungsschritt
  • Geeignet für Breitband-, g-Linien- , h-Linien-oder i-Linien-Belichtung, Laser-Direktschreiben bei 350…450 nm und Elektronenstrahllithographie
  • Kein Post Exposure Bake
  • Leichte Entfernbarkeit
     
  • Für die Strukturübertragung: Ätzmaske, Galvanikform, Form für die UV-Abformung
  • Anwendung in Mikrosystemtechnik, Mikroelektronik, Mikro-Optik – Herstellung von z.B. MEMS, LEDs, IC-Bausteinen, MOEMS, Glasfaserkommunikations-Bausteinen, Flachbildschirmen

Ansprechpartner

Dr. Christine Schuster

E-Mail: c.schuster@microresist.de

Telefon: +49 30 64 16 70 100

Anja Hinz

E-Mail: a.hinz@microresist.de

Telefon: +49 30 64 16 70 100

Hybridpolymere

micro resist technology bietet ein breites Portfolio an UV-härtbaren Hybridpolymer Produkten für mikrooptische Anwendungen. Durch ihre ausgezeichnete optische Transparenz  und hohe thermische Stabilität sind diese besonders geeignet zur Herstellung polymerbasierter optischer Komponenten und Wellenleiter. Die Hauptanwendungsgebiete sind die Herstellung von Mikrolinsen, diffraktiven optischen Elementen (DOE), Gitterstrukturen sowie Singlemode- oder Multimode-Wellenleitern.

OrmoComp®: DE 30 210 075 433; IR 1 091 982 ; TW 100030626; OrmoClear®: DE 30 210 075 434; IR 1 091 359 ; TW 100030628; OrmoStamp®: DE 30 210 075 435; IR 1 092 621 ; TW 100030629; OrmoPrime®: DE 30 210 075 436

Ansprechpartner

Dr. Jan Klein

E-Mail: j.klein@microresist.de

Telefon: +49 30 64 16 70 100

Anja Hinz

E-Mail: a.hinz@microresist.de

Telefon: +49 30 64 16 70 100

Nanoimprint-Resiste

Resiste für die Nanoimprint-Lithographie (NIL)

Die Nanoimprint Lithographie (NIL) ist eine sehr einfache und kostengünstige Technologie zur Herstellung von Strukturen mit Größen weniger Nanometer, die effizient in einem Prozessschritt auch auf großen Flächen realisiert werden kann. Hauptanwendungsfelder der NIL sind photonische Komponenten, unterschiedliche Bauelemente für die nächste Generation der Verbraucherelektronik, sowie Bio- und Life-Science-Sensoren.

Die micro resist technology GmbH bietet seit 1999 maßgeschneiderte Resistformulierungen für die Nanoimprint-Lithographie (NIL) an. Wir legen dabei besonderen Wert auf herausragende Filmbildungs- und Prägeeigenschaften sowie eine exzellente Plasmaätzstabilität und Strukturtreue. Weiterhin bieten wir hochinnovative Materialien, die eng an dem technischen Fortschritt in der Industrie entwickelt wurden. Wir sind in der Lage unsere Materialien an die Kundenwünsche anzupassen, sowohl in den gewünschten Schichtdicken, als auch in deren intrinsischen Materialeigenschaften. Die Nanoimprint-Resiste werden meist als Ätzmaske zur Strukturübertragung in unterschiedliche Substrate wie Si, SiO2, Al oder Saphir, eingesetzt.

Prinzipiell existieren zwei unterschiedliche NIL-Technologien: die thermische NIL (T-NIL), in der thermoplastische Polymere Verwendung finden, und die Photo-NIL bzw. UV-NIL, in der photo-vernetzbare Formulierungen eingesetzt werden. Mit unserer langjährigen Erfahrung sind wir in der Lage, den für Sie passenden Prozess und das am besten geeignetste Material für Ihre Anwendung zu finden. Kontaktieren Sie uns für tiefergehende Informationen.

Ansprechpartner

Dr. Manuel Thesen

E-Mail: m.thesen@microresist.de

Telefon: +49 30 64 16 70 100

Anja Hinz

E-Mail: a.hinz@microresist.de

Telefon: +49 30 64 16 70 100

Funktionelle Materialien für Inkjet-Printing

Spezielle Funktionsmaterialien aus den Produktgruppen Hybridpolymere, Photoresiste und Nanoimprint Polymere für die Beschichtung und alternative Strukturierung mittels Inkjet-Printing-Verfahren

  • Verfügbar in verschiedenen Viskositäten (einstellbar)
  • Anwendbar in kommerziellen Inkjet-Printing Geräten
  • Ausgerichtet auf stabile Reproduzierbarkeit in der Tropfengeneration
  • UV-aushärtende Formulierungen
  • Anwendung als Permanentmaterial für optische Anwendungen (Linsen, Wellenleiter, optische Koppler, diffraktive Elemente, …)
  • Als Packagingmaterial in der Mikroelektronik
  • Beschichtung / Strukturierung auf Substraten mit Oberflächentopographie 
  • Imprintmaterial in der Nanostrukturierung mit hoher Dosiergenauigkeit

Ansprechpartner

Dr. Anja Voigt

E-Mail: a.voigt@microresist.de

Telefon: +49 30 64 16 70 100

Dr. Jan Klein

E-Mail: j.klein@microresist.de

Telefon: +49 30 64 16 70 100

Trockenfilmresiste

Trockenfilme sind anwendungsfertige Polymerfilme als Laminat mit einer hohen Schichtdickengenauigkeit und exzellenten Haftungseigenschaften auf verschiedensten Untergründen. Sie sind einfach in der Verarbeitung, foto-strukturierbar und sowohl als zugeschnittene Bögen als auch als Rollenmaterial verfügbar.

  • Verfügbar in verschiedenen Dicken
  • UV-vernetzend – wie negativ Fotoresiste
  • Hohe Aspektraten möglich
  • Senkrechte Seitenwände
  • Mehrfachlaminierung möglich – bis zu 6 Schichten  komplexe Multilayer-Designs
  • Hohe chemische Resistenz
  • Anwendung als Permanentmaterial für optische Anwendungen (Linsen, Wellenleiter …), in der Mikrofluidik

Ansprechpartner

Carsten Schröder

E-Mail: c.schroeder@microresist.de

Telefon: +49 30 64 16 70 100

Resist Alliance

micro resist technology ist in Europa zentrale Anlaufstelle für Spezialchemikalien mit Anwendung in der Mikro- und Nanofabrikation. Das Portfolio der eigengefertigten Produkte wird durch den strategischen Vertrieb assoziierter Produkte ergänzt, die durch unsere internationalen Partner hergestellt werden. Hier agieren wir als High-Service-Distributor und bieten dem europäischen Mittelstand ein breites Spektrum an komplementären Produkten aus einer Hand, die sowohl für etablierte als auch für innovative Produktions- und Fertigungsverfahren eingesetzt werden können.

DuPont Electronic Solutions (ehm. DOW Electronic Materials / Rohm and Haas Europe Trading ApS)
Wir bieten Produkte für Semiconductor Technologies, Advanced Packaging und Trockenfilmresiste unseres Partners DuPont an, mit dem wir seit mehr als 20 Jahren zusammenarbeiten. 

Kayaku Advanced Materials, Inc. (ehm. MicroChem Corp.)
Wir bieten Photoresiste und Spezialchemikalien für MEMS und Mikroelektonik-Anwendungen unseres Partners Kayaku Advanced Materials an, mit dem wir seit mehr als 20 Jahren zusammenarbeiten.

DJ MicroLaminates, Inc.
Wir bieten Trockenfilmresiste für MEMS, Mikrofluidik und Packaging-Anwendungen unseres Partners DJ MicroLaminates an, mit dem wir seit über zwei Jahren kooperieren.

 

Ansprechpartner

Franziska Kopp

DuPont

E-Mail: f.kopp@microresist.de

Telefon: +49 30 64 16 70 100

Dr. Anja Voigt

Kayaku Advanced Materials, DJ Mikrolaminates

E-Mail: a.voigt@microresist.de

Telefon: +49 30 64 16 70 100

Anja Hinz

Kayaku Advanced Materials, DJ Mikrolaminates

E-Mail: a.hinz@microresist.de

Telefon: +49 30 64 16 70 100