Eine kostengünstige Methode zur Herstellung von Mikrolinsen-Arrays ist das Rundschmelzen des strukturierten Positivresists ma-P 1200G oder ma-P 1200 und die anschließende UV-Abformung der 3D-Strukturen in OrmoStamp® oder OrmoComp®

Prozess
Erzeugung der Strukturen mit ma-P 1200G oder ma-P 1200:
- Standard-Lithographieverfahren zur Erzeugung von Säulenstrukturen
- Reflow auf Heizplatte, Temperaturrampe 4-8 K/min ab 100 °C, 10 min Haltezeit bei 150 °C (ma-P 1200G) bzw. 160 °C (ma-P 1200)
- Kontrolle der Linsenstruktur durch das Verhältnis die Höhe/Durchmesser der ursprünglichen ma-P 1200G/ ma-P 1200 Säulen, Halbkugeln werden bei einem Verhältnis von 1:3 erhalten
A) Möglichkeit zur Strukturübertragung:
- Übertragung der ma-P 1200G/ ma-P 1200 Linsen, z.B. in Si oder Glas, durch RIE
- Optional: anschließende UV-Abformung in OrmoStamp® und OrmoComp®
B) Möglichkeit zur Strukturübertragung:
- UV-Abformung mit UV-härtbarem OrmoStamp®
- Auftragung einer Antihaft-Schicht
- Hergestellter OrmoStamp® Stempel einsatzbereit für eine Vielzahl von UV-Abformungen von OrmoComp® Mikrolinsen-Arrays
Anwendungen
- Herstellung von 3D Mikrostrukturen mit optischer Funktionalität
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