Eine ausgezeichnete Methode zur Herstellung dreidimensionaler optischer Strukturen ist die Grauton-Lithographie mit dem Positiv-Resist ma-P 1200G und anschließender Strukturübertragung mittels UV-Abformung mit OrmoStamp® und OrmoComp®.

Prozess
A) Strukturierung mittels Grauton-Lithographie mit ma-P 1200G
- Erzeugung eines ma-P 1200G Resist-Templates
B) Strukturübertragung mittels UV Abformung:
- Herstellung eines Arbeitsstempels: ma-P 1200G Resist-Templat wird in UV-aushärtbares OrmoStamp® übertragen
- Aufbringen einer Antihaft-Schicht
- OrmoStamp® Arbeitsstempel ist nun für eine Vielzahl von 3D-Strukturübertragungen mittels UV-Abformung von OrmoComp® verwendbar
Anwendungen
- Herstellung dreidimensionaler Mikrostrukturen mit optischen Funktionalitäten
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