Die Grauton-Lithographie mit dem Positiv-Resist ma-P 1200G ist eine ausgezeichnete Methode zur Herstellung dreidimensionaler Strukturen.
Diese dienen als Template für die nachfolgende Strukturübertragung z.B. mittels
- Metallisierung und Galvanik (und Prägen/ Abformen in Funktions-Polymere)
- UV Abformung mit OrmoStamp® und OrmoComp® oder thermische Abformung mit PDMS
- Trockenätzen
Im Video wird gezeigt, wie dreidimensionale Strukturen in dicken Schichten mittels Grauton-Lithographie in einem einfachen Aufbau unter Verwendung von ma-P 1275G hergestellt werden.
Anwendungen
Herstellung dreidimensionaler Mikrostrukturen z.B. in
- MEMS und MOEMS
- Mikrofluidik
- Wafer-Level-Optik
- Displays
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