Im Rahmen unserer Lithografie-Dienstleistungen bieten wir seit 2013 mehrschichtige Master-Wafer für mikrofluidische Anwendungen aus epoxidbasierten Resisten an. Diese Strukturen werden durch UV-Kontaktlithographie erzeugt und sind z.B. für zellbiologische Studien geeignet. In der Regel wird der mikrofluidische Chip vom Master-Wafer durch den Kunden selbst repliziert (siehe Arbeitsablauf unten). Dadurch, dass die Universität Basel 2014 das Design der "Dual Input Mother Machine" entwickelt und 2017 das Design und die Software für die Bildanalyse auf der Metafluidics-Website der Öffentlichkeit zur Verfügung gestellt hat, hat sich micro resist technology als Masterhersteller für Mikrofluidik etabliert und wird auf der Projektwebsite empfohlen:
https://metafluidics.org/devices/dual-input-mother-machine
Mit der "Dual Input Mother Machine" konnte erstmals das Langzeitwachstum von stäbchenförmigen Bakterien, z.B. E. coli, unter genau kontrollierbaren Umgebungsbedingungen analysiert werden und Matthias Kaiser von der Universität Basel konnte seine Arbeit 2018 in Nature Communications veröffentlichen – auch hier mit der Erwähnung von micro resist technology als Lieferant für mikrofluidische Master:
Kaiser, M. et al. Monitoring single-cell gene regulation under dynamically controllable conditions with integrated microfluidics and software. Nat Commun 9, 212 (2018)
https://doi.org/10.1038/s41467-017-02505-0
Die wichtigsten Fakten zu unserer Herstellungstechnologie:
- UV-belichtete Master auf Basis von Epoxidresisten
- Resist-Master mit bis zu 4 verschiedenen Schichten
- Bis zu 150 mm große Wafer
- Kleinste Abmessungen und Präzision:
- lateral: 0,6µm
- Schichtdicke: 0,3µm
- Ausrichtungsgenauigkeit: 0,5 µm (100mm Wafer)
- Optional mit Antihaftschicht beschichtet
Bisher mehr als 30 Institute und Universitäten in der ganzen Welt beliefert