mr-NIL 6000E ist ein photo-härtender thermoplastischer NIL Resist, der nach Prägen und Belichten eine ausgesprochene Strukturtreue unter thermischer Belastung aufweist
Merkmale
- Hohe thermische Strukturstabilität in nachgelagerten Prozessen durch die thermische Vernetzung/Aushärtung während des Imprintens
- Rein organischer Thermoplast → Plasmaätzen und stripping mit reinem Sauerstoffplasma möglich
Anwendungen
Ätzmaske zur Strukturübertragung für die Herstellung von beispielsweise
- High brightness LEDs
- Photonischen Kristallen
- Patterned media
- Nano-optischen Bauteilen, subwavelength optical elements
mr-NIL 6000E Versionen |
Schichtdicke * |
---|---|
mr-NIL 6000.1E |
100 nm |
mr-NIL 6000.2E | 200 nm |
mr-NIL 6000.3E | 300 nm |
* Andere Schichtdicken auf Anfrage verfügbar
Sie erhalten unsere NIL-Polymere in folgenden Abfüllgrößen:
- 0,25 l
- 0,5 l
- 1,0 l
- 2,5 l
- 100 ml als Testmenge, auf Anfrage (Mindermengenaufschlag)