mr-NIL 6000E Serie

mr-NIL 6000E ist ein photo-härtender thermoplastischer NIL Resist, der nach Prägen und Belichten eine ausgesprochene Strukturtreue unter thermischer Belastung aufweist

Merkmale

• Hohe thermische Strukturstabilität in nachgelagerten Prozessen durch die thermische Vernetzung/Aushärtung während des Imprintens
• Rein organischer Thermoplast → Plasmaätzen und stripping mit reinem Sauerstoffplasma möglich

Anwendungen

Ätzmaske zur Strukturübertragung für die Herstellung von beispielsweise

• High brightness LEDs
• Photonischen Kristallen
• Patterned media
• Nano-optischen Bauteilen, subwavelength optical elements
   

* Andere Schichtdicken auf Anfrage verfügbar 

Sie erhalten unsere NIL-Polymere in folgenden Abfüllgrößen:

• 0,25 l
• 0,5 l
• 1,0 l
• 2,5 l
• 100 ml als Testmenge, auf Anfrage (Mindermengenaufschlag)