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Zwei-Photonen-Absorption Lithographie

OrmoComp®

UV Imprint/ UV Moulding

OrmoComp® verfügt nach dem Aushärten über glasähnliche Materialeigenschaften und ist das Standardprodukt für eine große Auswahl an Strukturgrößen und Bauteildimensionen

Merkmale

  • Hohe Transparenz vom sichtbaren Spektrum bis zum Nah-UV (350 nm)
  • Hohe thermische und mechanische Stabilität

Anwendungen

  • Geprägte Gitter und Prismen
  • Mikrolinsen und Mikrolinsenarrays
  • Optische Kopplungselemente und Verbindungen
  • Mikrofluidische Systeme
  • Einzelelemente oder Wafer-Level
     
Parameter

OrmoComp®

 OrmoClear®FX

Viskosität

2 ± 0.5 Pa•s

1.5 ± 0.3 Pa•s

Auflösung

Hohe Auflösung bis zu 100 nm Strukturen

Thermische Stabilität

Bis zu 270 °C (kurzzeitig)

Schrumpfung

5 – 7 %

3 – 5 %

Brechungsindex (589 nm, ausgehärtet)

1,520

1,555

Abformung mit PDMS-Stempel
(keine Sauerstoffempfindlichkeit)

 Ja Ja

Haltbarkeit

6 Monate

Lösungsmittelfrei

Ja, gebrauchsfertige Formulierungen

Sie erhalten unsere Hybridpolymere in folgenden Abfüllgrößen:

  • 100 g
  • 250 g
  • 500 g
  • 1000 g

OrmoThin; OrmoPrime®08: • 100 ml • 0.25 l • 0.5 l • 1.0 l (Prozesschemikalien)

OrmoDev: • 1.0 l • 2.5 l • 5.0 l (Prozesschemikalien) 

mr-DWL Serie

Laserdirektschreiben @ 405 nm

Permanentanwendung oder konventionelle Strukturübertragungsprozesse

Merkmale

  • Empfindlich oberhalb 400 nm, für das Direktlaserschreiben @ 405 nm
  • Hohe thermische und chemische Stabilität
  • Hohe Trocken- und Nassätzstabilität

Anwendungen

  • Schnelles und kontaktloses Prototyping durch
  • Permanentanwendungen: Master- und Templateherstellung, PDMS-Abformung 
  • Strukturübertragung: Ätzmaske, Galvanikform
     

Resist

Schichtdicke

mr-DWL 5

5,0 µm @ 3000 rpm

mr-DWL 40

40 µm @ 2000 rpm
mr-DWL 100 100 µm @ 1500 rpm

Sie erhalten unsere Negativ-Photoresiste in folgenden Abfüllgrößen:

  • 0,25 l
  • 0,5 l
  • 1,0 l
  • 2,5 l
  • 100 ml als Testmenge, auf Anfrage (Mindermengenaufschlag)

Entwickler und Remover: • 1,0 l • 2,5 l • 5,0 l (Prozesschemikalien)

Verdünner: • 0,5 l • 1,0 l (Prozesschemikalien)