Produkte »
micro resist technology GmbH

Derzeit verfügbare Polymere

---

Produktparameter im Überblick

Polymer	Schichtdicke (3000 rpm)	Wellenlänge	Auflösung
Anwendung als Ätzmaske für die Strukturübertragung
mr-UVCur06	-	280 – 450 nm **	50 nm
mr-UVCur21-100 nm	100 nm	280 – 450 nm **	≤ 30 nm
mr-UVCur21-200 nm	200 nm	280 – 450 nm **	≤ 30 nm
mr-UVCur21-300 nm	300 nm	280 – 450 nm **	≤ 30 nm
mr-UVCur21SF	1,6 µm	280 – 450 nm **	≤ 30 nm

Andere Schichtdicken können auf Anfrage gefertigt werden
** Kompatibel mit unterschiedlichen UV-Lampen und Filtersystemen

Dazugehörige Prozesschemikalien

Polymer	Verdünner	Haftvermittler
mr-UVCur06	ma-T 1070	mr-APS1
mr-UVCur21-Serie	ma-T 1070	mr-APS1
mr-UVCur21SF	-	mr-APS1

---