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    micro resist technology GmbH

     Polymere für die Nanoimprint-Lithografie


    Polymere für die thermische Nanoimprint-Lithografie


    Anwendung als Ätzmaske für die Strukturübertragung

    » mr-I 7000E und mr-I 8000E
    Thermoplaste mit unterschiedlichen Glastemperaturen

    » mr-I 7000R und mr-I 8000R » Neu «
    Thermoplaste mit unterschiedlichen Glastemperaturen mit verbesserten Trenneigenschaften

    » mr-NIL 6000
    Härtendes Polymer für das kombinierte thermische und UV-gestützte Nanoprägen, isothermer Prägeprozess

    » mr-I 9000E
    Duroplast mit niedriger Prägetemperatur

    » mr-I PMMA
    Für grundlegende Nanoimprint-Untersuchungen

    Permanentanwendungen

    » mr-I T85
    Thermoplast für Lab-on-a-chip- und Bioanwendungen

    » mr-I 9000M
    Duroplast für die Mikro- und Nanofabrikation mit hoher thermischer Stabilität


    Polymere für die UV-gestützte Nanoimprint-Lithografie


    Anwendung als Ätzmaske für die Strukturübertragung

    » mr-UVCur06 und mr-UVCur21
    UV-härtendes, flüssiges Polymersystem, für Schleuderbeschichtungen

    » mr-UVCur21SF
    Für die Dispensierung geeignet


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