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micro resist technology GmbH
Derzeit verfügbare Polymere
...für die thermische NIL
...für die UV-gestützte NIL
Produkt-Details » mr-I T85«
Wichtigste Merkmale
Anwendungen
Prozess-Schema
Beispiele
mr-I T85
Lab-on-a-chip System für Absorptions-
messungen,
alle Komponenten
in eine
mr-I T85 Schicht geprägt
(Quelle: MIC / DTU)
Mikrofluidischer Farbstofflaser
und
Fresnellinse
in mr-I T85
geprägt
(Quelle:
MIC / DTU)
Photonischer Wellenleiter,
hergestellt mit
mr-I T85, 320 nm tiefe Löcher, übertragen in
Silizium
(200 nm Durchmesser)
(Quelle: MIC / DTU)
