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    Produkte »
    micro resist technology GmbH

     NIL Polymere                                  »mr-I PMMA«

    Derzeit verfügbare Polymere

    ...für die thermische NIL

    » mr-I 7000E & mr-I 8000E

    » mr-NIL 6000

    » mr-I 9000E

    » als PDF › mr-I PMMA

    » mr-I T85

    » mr-I 9000M

    ...für die UV-gestützte NIL

    » mr-UVCur21 und mr-UVCur06

    Produkt-Details   » mr-I PMMA«

    Wichtigste Merkmale


  • Hervorragende Filmqualität
  • Kleinste erreichbare Strukturgröße mindestens 50 nm
    (abhängig von der verwendeten Prägeform)
  • „Ungefährliche“ Lösungsmittel („safe“ solvents)
  • Verschiedene Molekulargewichte (35k, 75k)

    • Anwendungen


  • Grundlagenuntersuchung
    •

    Prozess-Schema



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