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micro resist technology GmbH
NIL Polymere »mr-I 9000M«
Derzeit verfügbare Polymere
...für die thermische NIL
» mr-I T85
...für die UV-gestützte NIL
Produkt-Details » mr-I 9000M «
Wichtigste Merkmale
Anwendungen
Prozess-Schema
Beispiele
mr-I 9000E und 90000M
100 nm Gräben,
300 nm Abstand
200 nm
Punktstruktur
200 nm
Linien
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