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micro resist technology GmbH
NIL Polymere »mr-I 7000R & mr-I 8000R«
Derzeit verfügbare Polymere
...für die UV-gestützte NIL
Produkt-Details » mr-I 7000R & 8000R «
Wichtigste Merkmale
Anwendungen
Prozess-Schema
Beispiele
mr-I 7000R & mr-I 8000R
12 nm-Gräben mit
50 nm Periode, in mr-I 7000R
geprägt (Eulitha und
Paul Scherrer Institut)
75 nm- und 100 nm-Quadrate
in mr-I 7030R geprägt
75 nm- und 100 nm-
Linien in mr-I 8000R
geprägt,
variable Periode
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