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    micro resist technology GmbH

     Hybridpolymere                                   »OrmoStamp«

    Derzeit verfügbare Produkte


    Wichtigste Merkmale


    Anorganisch-organisches Hybridpolymer
    für transparente Imprintstempel

  • Hohe Transparenz im UV und im sichtbaren Bereich
  • Mechanisch und thermisch stabil
  • Ausgezeichnete Strukturübertragung bis zu sub- 100 nm Strukturen
  • Prozessieren mit Standard-Lithographie-Ausrüstung
  • Anwendungen


    Zur Herstellung von:

  • Arbeitsstempeln
  • Kostengünstige Alternative zu Quarzstempeln
  • Exzellente Masterstempel-Formtreue

  • Prozessabfolge


    Schema Prozessabfolge OrmoStamp


    Beispiele

     

    Silizium Masterstempel
    75, 100, 200, 400
    und 800 nm Zwischeräume
     

    OrmoStamp Bild 1

    OrmoStamp Arbeitsstempel
    Repliziert vom Masterstempel
    75, 100, 200, 400
    und 800 nm Linien

    OrmoStamp Bild 2

    Imprint in mrUVCur21SF
    OrmoStamp Arbeitsstempel:
    75, 100, 200, 400
    und 800 nm Zwischenräume

    OrmoStamp Bild 3


    ® Eingetragenes Warenzeichen der Fraunhofergesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung in Deutschland e.V.


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