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    micro resist technology GmbH

     Hybridpolymere                                   »OrmoCore«

    Derzeit verfügbare Produkte

    » als PDF › OrmoCore

    » OrmoClad

    » OrmoClear

    » OrmoComp

    » OrmoStamp

    » OrmoClear10 & OrmoClear30

    Wichtigste Merkmale


    Photostrukturierbar anorganisch-organisches Hybridpolymer

  • UV-Strukturierung (Lithographie, Prägen)
  • Belichtung: i-Linie, Breitband
  • Variabler Brechungsindex (Core/ Cladding)
  • Hohe Transparenz bei Datacom-Wellenlängen
  • Thermisch stabil bis 270 °C
  • 6 Monate haltbar
  • Lösungsmittelfrei
    •

    Anwendungen


    Zur Herstellung von:

  • Multimode-Wellenleitern
  • Singlemode-Wellenleitern
  • Strahlteilern
  • Thermooptischen
    Schaltern
    •

    Abfolge für einen UV-Lithografischen Prozess


    Prozess 1

    Prozess 2

    Prozess 3

    Beispiele

     

    Undercladding & Core/
    Multimode- Wellenleiter
    auf Silizium
    ACREO/ Schweden

    Replizierte refraktive Sol-Gel-Mikrolinsen auf einem VCSEL-Wafer-Substrat
    (mit Erlaubnis von Avalon)

    Replizierte Sol-Gel Linsen
    auf einem VCSEL-Chip
    nach dem Packaging
    (CSEM/ Avalon)

    ® Eingetragenes Warenzeichen der Fraunhofergesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung in Deutschland e.V.


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