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    micro resist technology GmbH

     Hybridpolymere                                   »OrmoClear«

    Derzeit verfügbare Produkte

    » OrmoCore

    » OrmoClad

    » OrmoClear

    » OrmoComp

    » OrmoStamp

    » OrmoClear10 & OrmoClear30

    Wichtigste Merkmale


    OrmoClear
    für einfache microoptische Anwendungen

  • Sehr hohe Transparenz im sichtbaren Wellenlängenbereich und nahem UV
  • UV-strukturierbar bei Raumtemperatur:
    Prägen und Lithographie (Abstandsbelichtung), Auflösung bis mindestens 10 µm
  • Geeignet für Breitand- oder h- und i-Linien-Belichtung
  • Hohe thermische und mechanische Stabilität
  • 6 Monate haltbar
    •

    Anwendungen


    Zur Herstellung von:

  • Optischen Mikrokomponenten,
    z.B. Linsen, Linsenarrays etc.
  • Einzelnen Elemente und Strukturierung der gesamten Waferfläche

    • Beispiele

     

    Waben Ø 250 µm,
    Dreieckspitze 12 µm,
    UV Lithographie von
    OrmoClear - (mrt)

    OrmoClear Bild1

    Spule: 15 µm Stegbreite,
    24 µm Abstand, UV Litho-
    graphie von OrmoClear
    (mrt)

    OrmoClear Bild2

    Zylindrische Strukturen
    Ø 4/ 8/ 16/ 32 µm
    UV Prägen
    (mrt)

    OrmoClear Bild3

    ® Eingetragenes Warenzeichen der Fraunhofergesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung in Deutschland e.V.


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