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    micro resist technology GmbH

     Hybridpolymere                                   »OrmoClear10 & OrmoClear30«

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    » als PDF › OrmoClear10 & OrmoClear30

    Wichtigste Merkmale


    OrmoClear10 & OrmoClear30
    Materialien mit hohen Schichtdicken für Mikrooptiken

  • Schichtdicken bis 500 µm durch Schleuderbeschichtung (OrmoClear30)
  • Sehr hohe Transparenz im sichtbaren
    Wellenlängenbereich und nahen UV
  • Hohe thermische und mechanische Stabilität
    •

    Anwendungen


    Zur Herstellung von:

  • Optischen Mikrokomponenten,
    z.B. Linsen, Linsenarrays etc.
  • Einzelnen Elemente und Strukturierung der gesamten Waferfläche

    • Prozessabfolge


    Prozessabfolge OrmoClear10 & OrmoClear30

    OrmoClear10

    Abbildung OrmoClear10

    Mikrometerstrukturen
    (Strukturbreite 1 µm - 10 µm,
    Strukturlänge bis 120 µm)

    Abbildung OrmoClear10

    Dreieckstrukturen
    16 und 8 µm Kantenlänge

    OrmoClear30

    Abbildung OrmoClear30

    Zahnradstrukturen
    bis 200 µm Durchmesser

    Abbildung OrmoClear30

    Siemensstern Struktur
    Spitzen 1 µm

    ® Eingetragenes Warenzeichen der Fraunhofergesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung in Deutschland e.V.


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