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micro resist technology GmbH
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Wichtigste Merkmale
Photostrukturierbar anorganisch-organisches Hybridpolymer
Anwendungen
Zur Herstellung von:
Abfolge für einen UV-Lithografischen Prozess



Beispiele
Undercladding &
Core/Multimode-
Wellenleiter auf
Silizium - ACREO/
Schweden

Im Mehrschicht-
verfahren
hergestellter
Optischer Fächer
FHG - IOF/ Jena

Replizierte Micro-
linsen in
Sol-Gel-Material
(CSEM/Schweiz)

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