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micro resist technology GmbH
Anorganisch - organische Hybridpolymere (ORMOCER®e)
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OrmoComp – Laser Direkt Schreiben als eine alternative Strukturierungstechnik
OrmoComp Mikrostrukturen mittels 3D Laser Lithographie hergestellt.
Form und Geometrie der Strukturen können bei dem Herstellungsprozess auf Grundlage der 2-Photonen-Absorption frei gewählt werden.
(mit freundlicher Genehmigung der Nanoscribe GmbH)
Wellenlänge des Prozesslasers: 780 nm
Substrat: Glas
Produktparameter im Überblick
| Polymer | Schichtdicke (3000 rpm) |
Entwickler | Verdünner | Haftvermittler |
|---|---|---|---|---|
| OrmoComp | 20 µm | OrmoDev | OrmoThin ma-T 1050* |
OrmoPrime08 |
| OrmoStamp | 10 µm | OrmoDev | OrmoThin ma-T 1050* |
OrmoPrime08 |
| OrmoCore | 20 µm (Umgebungsatmosphäre) | OrmoDev | OrmoThin ma-T 1050* |
OrmoPrime08 |
| OrmoClad | 16 µm (Umgebungsatmosphäre) | OrmoDev | OrmoThin ma-T 1050* |
OrmoPrime08 |
| OrmoClear | 15 µm (Umgebungsatmosphäre) | OrmoDev | OrmoThin ma-T 1050* |
OrmoPrime08 |
| OrmoClear10 | 31 µm (Umgebungsatmosphäre) | OrmoDev | OrmoThin ma-T 1050* |
OrmoPrime08 |
| OrmoClear30 | 75 µm (Umgebungsatmosphäre) | OrmoDev | OrmoThin ma-T 1050* |
OrmoPrime08 |
* für Schichtdicken > 500 nm
Alle in der Tabelle benannten anorganisch-organischen Hybridpolymere sind UV-strukturierbar.
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