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    micro resist technology GmbH

     Negativ-Photoresiste-Serien           »EpoCore/EpoClad«

    Derzeit verfügbare Produkte


    Produkt-Details   » EpoCore/EpoClad «

    Vernetzendes Materialsystem für die Herstellung polymerbasierter Wellenleiter

    Wichtigste Merkmale


  • Prozessierbar mit Standardtechnologien
  • UV-strukturierbar (Core/ Cladding)
  • Hohe Transmission bei 850 nm
  • Hohe Temperatur- und Druckbeständigkeit
  • Brechungsindex variabel einstellbar (Core/ Cladding)
  • Anwendungen


  • Optische Wellenleiter
  • Ätzmasken
  • Gießformen
  • Biosensoren (multifunktionale Systeme)
  • Photoresist

  • Prozess-Schema



    Beispiele

    EpoCore/Epoclad

    Keine Microrisse
    an kritischen Punkten

    Glatte Oberfläche,
    vertikales Profil

    Waver mit
    Wellenleiterstruktur


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