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micro resist technology GmbH
Produkt-Highlights 2010:
OrmoPrime08
Neuer verbesserter Haftvermittler für anorganisch-organische Hybridpolymere
Die micro resist technology GmbH produziert und vertreibt anorganisch-organische Hybridpolymere (ORMOCER®e) für Anwendungen in der Mikrooptik und Photonik. Um eine gute Haftung der Hybridpolymere auf Substraten, wie Glas, Quarz, Silizium oder Kunststoffen zu gewährleisten, müssen die Substratoberflächen mit einem Haftvermittler vorbehandelt werden.
Bisher bietet die micro resist technology GmbH hierfür den aus drei Komponenten bestehenden Haftvermittler OrmoPrime Set an, der unmittelbar vor der Anwendung gebrauchsfertig angerührt werden muss und danach eine Haltbarkeit von etwa 24 Stunden besitzt. In einigen Fällen wurden Defekte in der Haftvermittlerschicht beobachtet, so dass der Haftvermittler wieder entfernt und die Behandlung wiederholt werden musste.
Die micro resist technology GmbH bietet jetzt als neuen, verbesserten Haftvermittler OrmoPrime08 an, der das bisherige Produkt OrmoPrime Set seit Januar 2010 abgelöst hat.
OrmoPrime08, ist ein einfach zu handhabendes Einkomponentensystem. Die gebrauchsfertige Lösung wird durch Aufschleudern auf das saubere Substrat gebracht, zeigt ein defektfreies Benetzungsverhalten und besitzt bei sachgemäßer Lagerung eine Haltbarkeit von mindestens sechs Monaten.
mr-I 7000R und mr-I 8000R
» Neue Polymere für die thermische Nanoimprint-Lithografie
mit stark verbesserten Trenneigenschaften «
In der Nanoimprint-Lithografie (NIL) muss die Entformung des Stempels defektfrei erfolgen und darf nur geringe Kräfte erfordern. Die neuen Polymere mr-I 7000R und mr-I 8000R für die thermische NIL erfüllen diese Anforderungen noch besser als bisher. Ihre Rezepturen wurden auf exzellente Entformungs-eigenschaften und minimale Entformkräfte hin entwickelt.
Die beiden thermoplastischen Polymere mr-I 7000R und mr-I 8000R (Tg 50 °C bzw. 105 °C) können in Nanoimprint-Prozessen als Ätzmaske zur Herstellung von Nanostrukturen eingesetzt werden. Die Anwendungsfelder sind Datenspeicher, LEDs, Displays oder mikro- und nanooptische Bauelemente. Ihr exzellentes Prägeverhalten und ihre hohe Plasmaätzstabilität ermöglichen kurze Prozesszeiten und eine hervorragende Wiedergabegenauigkeit. Die verbesserten Trenneigenschaften erleichtern die Abformung anspruchsvoller kleiner Strukturen mit Auflösungen unter 50 nm.
Die beiden Serien mr-I 7000R und mr-I 8000R sind ab Juni 2010 kommerziell von micro resist technology erhältlich.
