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micro resist technology GmbH
Als Distributor für die Firma Dupont bieten wir Trockenfilmresiste an:
| Resist | Anwendung | Schichtdicke | Permanent/ Entfernbar |
Entwickler |
|---|---|---|---|---|
| MX Serien MX 5000, MX 5000c, MXAdvance100, |
Vielfältige Anwendungen, z.B.Strukturierung von Kontaktlöchern, galvanische Abscheidung, Schutzschicht, RDL-Ätzen |
10–100 µm | Entfernbar | Spray- entwicklung, 0,75% K2CO3 (mr-D 4000/ 75) |
| WBR 2000 Serie | Erzeugung von Lötbumps durch galvanische Abscheidung oder Siebdruck, Kupfer-Säulen |
50, 75, 100, 120 µm |
Entfernbar | Spray- entwicklung, 1 % K2CO3 (mr-D 4000/ 100) |
| PerMX 3000 Serie | Permanent- strukturierung für vielfältige MEMS-Anwendungen, z.B. SAW (Rahmen, Abdeckung), CMOS-Sensoren (Rahmen, Bonden), WLP (RDL Dielektrikum, Waferbonden) |
20, 50 µm | Permanent | Tauch- entwicklung, PGMEA, (mr-Dev 600) |
| WPR 1000 Serie | Vielseitiger gefärbter Resist für Permanent- anwendungen |
50, 75, 100 µm |
Permanent | Spray- entwicklung, 0,85% Na2CO3 wasserfrei oder 1% Na2CO3 Monohydrat |
Folgende Dokumente stehen zur Verfügung:
MX Serien »Verarbeitungshinweise«
MX5000
MX5000c
MX Advance 100 Serie »Verarbeitungshinweise«
MX Advance 100
WBR 2000 Serie »Verarbeitungshinweise«
WBR 2000 Serie
PerMX 3000 Serie »Datenblatt«
PerMX 3000 Serie
WPR 1000 Serie »Verarbeitungshinweise« und Eigenschaften des gehärteten Materials
WPR 1000 Serie »Verarbeitungshinweise«
WPR 1000 Serie »Eigenschaften des gehärteten Materials«
Wir bieten auch gebrauchsfertig verdünnte Entwickler für diese Resiste an.
Informationen über die verschiedenen Trockenfilmresiste für die Advanced Packaging-Lithographie
finden Sie hier »
Weitergehende Informationen: www.dupont.com
