Eine kostengünstige Methode zur Herstellung von Mikrolinsen-Arrays ist das Rundschmelzen des strukturierten Positivresists ma-P 1275 und die anschließende UV-Abformung der 3D-Strukturen in  OrmoStamp® oder OrmoComp®.

 

 

reflow process

 

Prozess

Erzeugung der Strukturen mit ma-P 1275:

  • Standard-Lithographieverfahren zur Erzeugung von Säulenstrukturen
  • Reflow auf Heizplatte, Temperaturrampe 4-8 K/min ab 100 °C, 5 min Haltezeit bei 160 °C
  • Kontrolle der Linsenstruktur durch das Verhältnis die Höhe/Durchmesser der ursprünglichen ma-P 1275 Säulen, Halbkugeln werden bei einem Verhältnis von 1:3 erhalten

A) Möglichkeit zur Strukturübertragung:

  • Übertragung der ma-P 1275 Linsen, z.B. in Si or Glas, durch RIE
  • Optional: anschließende UV-Abformung in OrmoStamp® und OrmoComp®

B) Möglichkeit zur Strukturübertragung:

  • UV-Abformung mit UV-härtbarem OrmoStamp®
  • Auftragung einer Antihaft-Schicht
  • Hergestellter OrmoStamp® Stempel einsatzbereit für eine Vielzahl von UV-Abfromungen von OrmoComp® Mikrolinsen-Arrays

Anwendungen

  • Herstellung von 3D Mikrostrukturen mit optischer Funktionalität

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