Eine ausgezeichnete Methode zur Herstellung dreidimensionaler optischer Strukturen ist die Grauton-Lithographie mit dem Positiv-Resist ma-P 1275G und anschließender Strukturübertragung mittels UV-Abformung mit OrmoStamp® und OrmoComp®.

 

reflow process

Prozess

A) Strukturierung mittels Grauton-Lithographie mit ma-P 1275G

  • Erzeugung eines ma-P 1275G Resist-Templates

B) Strukturübertragung mittels UV Abformung:    

  • Herstellung eines Arbeitsstempels: ma-P 1275G Resist-Templat wird in UV-aushärtbares OrmoStamp® übertragen
  • Aufbringen einer Antihaft-Schicht
  • OrmoStamp® Arbeitsstempel ist nun für eine Vielzahl von 3D-Strukturübertragungen mittels UV-Abformung von OrmoComp® verwendbar

Anwendungen

  • Herstellung dreidimensionaler Mikrostrukturen mit optischen Funktionalitäten

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