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micro resist technology GmbH
auf der Internet-Präsentation der Gesellschaft für
chemische Materialien spezieller Photoresistsysteme mbH!
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EpoCore und EpoClad:
Hochviskose Resiste für die Herstellung von polymerbasierten Wellenleitern und für konventionelle Strukturübertragungsprozesse
Mit seinem nahezu senkrechten Kantenprofil ist der hochviskose Negativresist EpoCore in Kombination mit EpoClad, welches einen definiert geringeren Brechungsindex als EpoCore aufweist, ideal für die Herstellung von hochtransparenten polymerbasierten Multimode-Wellenleitern. Diese erreichen Werte für die optische Dämpfung von 0,2 dB/cm bei 850 nm. EpoClad in seiner speziellen Zusammensetzung weist eine ausgezeichnete Haftung auf den verschiedensten Substratmaterialien auf. Die mit diesem Materialsystem gefertigten eingebetteten Wellenleiter zeigen eine exzellente thermische Beständigkeit in einem breiten Temperaturbereich.
Durch die hohe thermische und chemische Beständigkeit der vernetzten EpoCore und EpoClad-Materialien sind diese Resiste neben der Herstellung von permanenten Strukturen und optischen Komponenten des MEMS-Marktes auch für konventionelle Strukturübertragungsprozesse z.B. mittels Galvanik eignet.
